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硅表 SLIA-300日本掘場HORIBA[產(chǎn)品打印頁面]

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簡單介紹

硅表 SLIA-300日本掘場HORIBA

硅表 SLIA-300日本掘場HORIBA

   的詳細介紹

超純水管理用 高靈敏度硅表 SLIA-300

  • 概要
  • 規(guī)格

概要

在半導體/FPD工藝中,超純水中的二氧化硅濃度會給產(chǎn)品精度以及原材料利用率帶來很大影響。高靈敏度硅表 SLIA-300完全能夠達到1μg/L(1ppb)等級的檢測要求。在其小巧的臺式型機身中可實現(xiàn)在整個檢測范圍內(nèi)的高靈敏度檢測。連同HORIBA享有好評的一些基本特性,例如高速響應(yīng)性以及自我診斷功能等,其值得夸耀的表現(xiàn)將靈敏度帶入了一個新的等級。SLIA-300為半導體/FPD制造流程中的純水工藝提供了強有力的支持。

特征

●高靈敏度、以及較高的重復性。
利用HORIBA新開發(fā)的檢測單元,SLIA-300實現(xiàn)了應(yīng)對低濃度的高靈敏度測量。通過5分鐘的高速測量,可保證在0?2μg/L量程中實現(xiàn)全刻度±2%的重復性。

●小巧設(shè)計的臺式型。
新開發(fā)的檢測單元技術(shù),實現(xiàn)了劃時代的小巧設(shè)計。由于是臺式型,所以可以適用于各種各樣設(shè)置條件等較小空間。也可以作為移動式使用。

●試劑的消耗量可降低80%。
采用改良型檢測單元,可以把試劑的消耗量降低到原來的80%。能夠大幅地削減試劑的經(jīng)費成本。

●*多可檢測6個點。(可選件)
支持多點檢測,SLIA-300支持的多點檢測。檢測點數(shù)可以在1和6之間進行任意設(shè)定。

●自我診斷功能檢查運行錯誤。
該功能可對試樣水以及試劑的注入、校正、檢測單元內(nèi)溫度和光源異常等運行錯誤進行監(jiān)測和自我診斷。如果發(fā)生錯誤,就會以報警燈顯示,同時通過文字顯示輸出信息。

●通過自動校正,實現(xiàn)良好維護性。
每次測量之前將自動進行零點校正,除可以確認透過光度以外,還可以修正濁度的影響。

●采用不需要更換的半長久性光源。
采用光量穩(wěn)定、 工作壽命長的單色性半導體光源。

制造: HORIBA Advanced Techno

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