日本KOSAKA LAB小坂ET200臺(tái)階儀(探針接觸式輪廓儀/微細(xì)形狀測(cè)定機(jī))
產(chǎn)品介紹
株式會(huì)社小坂研究所（KOSAKA）是于 1950 年創(chuàng)立的公司，也是日本 家發(fā)表光學(xué)干杠桿表面粗糙度計(jì)，是一家具有悠久歷史與技術(shù)背景的專業(yè)廠商,主要有測(cè)定/自動(dòng)/流體三大部門。其中測(cè)定部門為 代表性單位且在日本精密測(cè)定業(yè)占有一席無法被取代的地位。
KOSAKA ET200 基于 Windows XP 操作系統(tǒng)為多種不同表面提供**的形貌分析，包括半導(dǎo)體硅片、太陽能硅片、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、薄膜/化學(xué)涂層以及平板顯示等。使用金剛石（鉆石）探針接觸測(cè)量的方式來實(shí)現(xiàn)高精度表面形貌分析應(yīng)用。ET200 能**可靠地測(cè)量出表面臺(tái)階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應(yīng)力等多種表面形貌技術(shù)參數(shù)。
ET 200 配備了各種型號(hào)探針，提供了通過過程控制接觸力和垂直范圍的探頭，彩色 CCD原位采集設(shè)計(jì)，可直接觀察到探針工作時(shí)的狀態(tài)，更方便準(zhǔn)確的定位測(cè)試區(qū)域。
技術(shù)參數(shù)
一、測(cè)定工件：
1. *大工件尺寸：φ160mm
2. *大工件厚度：50mm
3. *大工件重量：2kg
二、檢出器（pick up）：
1. Z方向測(cè)定范圍：Max. 600μm
2. Z方向分解能：0.1nm
3. 測(cè)定力：10μN(yùn) to 500μN(yùn)
4. 觸針半徑：2 μm
5. 驅(qū)動(dòng)方式：直動(dòng)式
6. 再現(xiàn)性：1σ= 1nm
三、X 軸 (基準(zhǔn)軸)：
1. 移動(dòng)量(*大測(cè)長)：100mm
2. 移動(dòng)的真直度：0.2μm/100mm
3. 移動(dòng),測(cè)定速度：0.02 ~ 10mm/s
4. 線性尺(linar scale)：分解能 0.1μm
四、Z軸：
1. 移動(dòng)量：50mm
2. 移動(dòng)速度：max.2mm/S
3. 檢出器自動(dòng)停止機(jī)能
4. 位置決定分解能：0.2μm
五、工件臺(tái)：
1. 工件臺(tái)尺寸：φ160mm
2. 機(jī)械手動(dòng)傾斜： ± 1mm/150mm
六、工件觀察：max.110 倍(可選購其它高倍率CCD)
七、床臺(tái)：材質(zhì)為花崗巖石
八、防振臺(tái)(選購)：落地型或桌上型
九、電源：AC100V±10%, 50/60HZ, 300VA
十、本體外觀尺寸及重量：W494×D458×H610mm, 120kg(不含防震臺(tái))
臺(tái)階儀的主要工作原理、種類、特點(diǎn)有哪些？
日本KOSAKA LAB小坂ET200臺(tái)階儀(探針接觸式輪廓儀/微細(xì)形狀測(cè)定機(jī))
臺(tái)階儀是一種針對(duì)物體接觸表面形貌進(jìn)行測(cè)量的高精密測(cè)量儀器，日常中大家可以相對(duì)接觸的機(jī)會(huì)較少，但在工業(yè)制造行業(yè)來說是一款密切相關(guān)的儀器設(shè)備。
那么我們通過以下幾點(diǎn)分析對(duì)臺(tái)階儀的工作原理、分類、主要特點(diǎn)進(jìn)行了解。
日本KOSAKA LAB小坂ET200臺(tái)階儀(探針接觸式輪廓儀/微細(xì)形狀測(cè)定機(jī))臺(tái)階儀的工作原理
臺(tái)階儀主要工作是用于精密測(cè)量，工作原理是，當(dāng)觸針在檢測(cè)物體表面劃過時(shí)，接觸體表面微小的峰谷就會(huì)讓觸針在進(jìn)行滑行的同時(shí)也做一些上下運(yùn)動(dòng)。因此觸針的運(yùn)動(dòng)情況在一定程度上也體現(xiàn)了表面輪廓的情況。而當(dāng)傳感器輸出的信號(hào)經(jīng)過測(cè)量的電橋之后，輸出的信號(hào)與觸針的平衡位子的位移此刻成正比，調(diào)幅信號(hào)也隨之出現(xiàn)，經(jīng)過放大和整流之后，位移信號(hào)就從調(diào)幅信號(hào)中解調(diào)出來了，信號(hào)就變得相應(yīng)緩慢，也就能在控制器中被讀出來。隨之噪音濾波器以及波度濾波器會(huì)對(duì)調(diào)制頻率以及外界的干擾信號(hào)等因素進(jìn)行進(jìn)一步的過濾，誤差所帶來的影響也隨之減小。
日本KOSAKA LAB小坂ET200臺(tái)階儀(探針接觸式輪廓儀/微細(xì)形狀測(cè)定機(jī))臺(tái)階儀的種類
臺(tái)階儀也被人們叫做臺(tái)階測(cè)量儀、薄膜測(cè)厚儀、細(xì)微形狀測(cè)定機(jī)。由于其內(nèi)部存在一個(gè)樣式不一的傳感器，因此人們對(duì)臺(tái)階儀進(jìn)行分類時(shí)，也習(xí)慣利用傳感器的不同來進(jìn)行分類，根據(jù)傳感器的不同，臺(tái)階儀一般被分為電感式、壓電式以及光電式的臺(tái)階儀。其中，電感式的臺(tái)階儀測(cè)量的精度*高，但是相應(yīng)的電路處理稍顯復(fù)雜。而壓電式臺(tái)階儀其靈敏度*高，結(jié)構(gòu)也較為簡單。而光電式臺(tái)階儀則是屬于較為新型的一種測(cè)量儀形式。
日本KOSAKA LAB小坂ET200臺(tái)階儀(探針接觸式輪廓儀/微細(xì)形狀測(cè)定機(jī))臺(tái)階儀產(chǎn)品特點(diǎn)
臺(tái)階儀不僅測(cè)量的精度十分高，并且量程也較大，因此測(cè)量的結(jié)果可以說十分穩(wěn)定，也有著十分可觀的重復(fù)性，但是由于側(cè)頭和和測(cè)件之間免不了喲啊相互接觸，因此長此以往，臺(tái)階儀的側(cè)頭就是分容易變形，這也導(dǎo)致儀器在使用一段時(shí)間之后精度也會(huì)下降。由于側(cè)頭的硬度很多時(shí)候都很高，因此并不適用于精密的零件以及軟質(zhì)的表面等物體的測(cè)量工作。
日本KOSAKA LAB小坂ET200臺(tái)階儀(探針接觸式輪廓儀/微細(xì)形狀測(cè)定機(jī))臺(tái)階儀的工業(yè)用途
·大學(xué)、研究實(shí)驗(yàn)室和研究所
·半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體
·LED：發(fā)光二極管
·太陽能
·MEMS：微機(jī)電系統(tǒng)
·數(shù)據(jù)存儲(chǔ)
·汽車
·醫(yī)療設(shè)備
日本KOSAKA LAB小坂ET200臺(tái)階儀(探針接觸式輪廓儀/微細(xì)形狀測(cè)定機(jī))