SIMCO-ION思美高設備優(yōu)點：靜電吸附是用于臨時吸附材料的一種特殊工藝，ECM系列靜電吸附系統(tǒng)可以根據(jù)客戶需要提供高達60KV靜電電壓用于各種場合。ECM靜電吸附系統(tǒng)采用高頻開關技術提供三大優(yōu)勢。首先，能夠根據(jù)所設定的電壓實現(xiàn)穩(wěn)定的電壓輸出；其次，輸入電壓的波動將不會影響輸出電壓波動；*后，周邊環(huán)境的變化，負載的變化，特別是在*大臨界負載變化將不會影響輸出電壓的穩(wěn)定性。ECM靜電吸附系統(tǒng)采用防電弧技術，很重要的優(yōu)點可以保證人身和設備使用**,并提高設備的穩(wěn)定性，延長使用壽命。對于靜電吸附系統(tǒng)，靜電產生電極通常被連接到高達幾萬伏的電壓，靜電產生電極周圍會發(fā)生電暈現(xiàn)象，空氣被電離，在電場的作用下，電荷移動至目標物體上。此時目標物體所帶有電荷的極性依賴于所產生高壓相對于地極的極性。

5635 型 Aerobar MP 離子發(fā)生器是一種超低顆粒兼容產品，專為需要 100 nm 或更低微粒管理的領域（例如先進半導體制造工藝）的靜電消除而開發(fā)。

長處

■單晶硅電極在全球擁有****的采用記錄，具有超低顆粒特性，避免
了電極材料造成的金屬污染風險 ■獨特的MP（脈沖調制）方法提供高靜電消除性能
，可有效地將離子輸送到目標 ■ 低電位擺動特性，即使在 100 mm 的距離下也能使用，離子平衡對棒材長度幾乎沒有偏差 ■ 智能控制電路持續(xù)自動管理
離子發(fā)生狀態(tài)和離子平衡
■ 可互換電極，可拆卸1/4圈，有助于

■MP系統(tǒng)具有非常小的電位擺幅，簡化了設置，小電位擺幅也有效地將長期離子平衡保持在
控制標準范圍內。 ■根據(jù)半導體前端工藝的EFEM設置長度條
。 ■ 緊湊型設計
，內置24V直流驅動控制器 ■ 全球提供高水平的支持網(wǎng)絡

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