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產(chǎn)品名稱:
日本SSD西西蒂光照射除電裝置揚(yáng)州供應(yīng)
產(chǎn)品型號(hào):
ISX-224
產(chǎn)品展商:
SSD西西帝防靜電設(shè)備
折扣價(jià)格:
0.00 元
關(guān)注指數(shù):30
產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹
與瓦斯的流動(dòng)狀態(tài)無關(guān),可獲得安定的除電性能。由于被光照射到的空間內(nèi)廣范圍地將瓦子化,因此,即使除電對(duì)象物附近存在不穩(wěn)定的氣流,也不影響除電性能。 平常完全不須維護(hù),僅需依軟X線管頭的耐用期限(8000h)更換即可。 由于正負(fù)離子及電子平均分布于空間內(nèi),因此除電對(duì)象物的殘留電位可定為0V。 由于光直接離子化,因此,在大氣壓下,在 N2、Ar等不活性瓦斯中也可除電。 由于是光照射之離子系統(tǒng),因此,完全不發(fā)塵,電磁雜訊(noise)也幾乎無發(fā)生。 依高能量光使得空氣中的氧氣分子也加速離子化,因此,幾乎沒有產(chǎn)生臭氧(ozone)。 構(gòu)成本系統(tǒng)的機(jī)器,僅有軟X線管頭及電力裝置2項(xiàng),在制造裝置.搬運(yùn)上易安裝
日本SSD西西蒂光照射除電裝置揚(yáng)州供應(yīng)
的詳細(xì)介紹
產(chǎn)品特點(diǎn)：
l 對(duì)于一般大氣中晶圓(wafer)等帶電電位衰減至1/10,於1S以內(nèi)的短時(shí)間內(nèi)除電。
l 與瓦斯的流動(dòng)狀態(tài)無關(guān),可獲得安定的除電性能。由于被光照射到的空間內(nèi)廣范圍地將瓦子化,因此,即使除電對(duì)象物附近存在不穩(wěn)定的氣流,也不影響除電性能。
l 平常完全不須維護(hù),僅需依軟X線管頭的耐用期限(8000h)更換即可。
l 由于正負(fù)離子及電子平均分布于空間內(nèi),因此除電對(duì)象物的殘留電位可定為0V。
l 由于光直接離子化,因此,在大氣壓下,在 N2、Ar等不活性瓦斯中也可除電。
l 由于是光照射之離子系統(tǒng),因此,完全不發(fā)塵,電磁雜訊(noise)也幾乎無發(fā)生。
l 依高能量光使得空氣中的氧氣分子也加速離子化,因此,幾乎沒有產(chǎn)生臭氧(ozone)。
l 構(gòu)成本系統(tǒng)的機(jī)器,僅有軟X線管頭及電力裝置2項(xiàng),在制造裝置.搬運(yùn)上易安裝。