• 含水樣品也無需前處理即可在大氣壓下進(jìn)行SEM觀察
• 從低真空到大氣壓（數(shù) Pa～105 Pa），可在大范圍壓力下進(jìn)行SEM觀察
• 標(biāo)準(zhǔn)搭載ES-Corrector（電子束散射校正）圖像改善功能
• 在真空模式下，除了通常的SEM觀察之外，還可進(jìn)行EDX分析（選配）
• 主機(jī)采用330 mm寬度的小型設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)節(jié)省空間和高便利性
• 無需等待抽真空時(shí)間，快速實(shí)現(xiàn)從搭載樣品到觀察圖像的全過程

概要

大氣壓觀察（圖1）

• 樣品設(shè)置在標(biāo)準(zhǔn)大氣壓環(huán)境下（105 Pa）
• 配置樣品的大氣壓倉室與SEM內(nèi)部由隔膜分離，在保持SEM內(nèi)部真空的同時(shí)，可對(duì)樣品進(jìn)行電子束照射觀察
• 而且，可通過附帶的真空泵在負(fù)壓下（約103～105 Pa）進(jìn)行觀察

低真空觀察（圖2）

• 隔膜可拆卸，還可進(jìn)行低真空SEM觀察和EDX分析
• 搭載了日立臺(tái)式顯微鏡TM系列中廣為采用的高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子檢測(cè)器

圖1：大氣壓或負(fù)壓觀察時(shí)

圖2：低真空觀察時(shí)

• 項(xiàng)目	內(nèi)容
  電子槍	預(yù)對(duì)中燈絲
  檢測(cè)系統(tǒng)	高靈敏度4分割半導(dǎo)體背散射電子檢測(cè)器
  加速電壓	5 kV/15 kV
  倍率	×15～×60,000（使用數(shù)碼變焦時(shí)：×240,000）
  觀察壓力	大氣壓模式（105 Pa）（裝有隔膜時(shí)）
  	負(fù)壓模式（約103 Pa～105 Pa）（裝有隔膜時(shí)）
  	低真空模式（數(shù) Pa～數(shù)10 Pa）（拆下隔膜時(shí)）
  大樣品尺寸	直徑55 mm
  大小和重量	主機(jī)：330（W）×687（D）×565（H）mm, 67.0 kg（手動(dòng)操作臺(tái)） 控制裝置：220（W）×368（D）×235（H）mm, 11.8 kg 隔膜泵：145（W）×256（D）×217（H）mm, 4.5 kg ×2臺(tái)