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產(chǎn)品名稱:
杉本KOSAKA 臺階儀薄膜測厚儀
產(chǎn)品型號:
ET200A
產(chǎn)品展商:
KOSAKA小坂
折扣價格:
0.00 元
關(guān)注指數(shù):59
產(chǎn)品文檔:
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KOSAKA 臺階儀 | 薄膜測厚儀 | 微細形狀測定機 ET200A
杉本KOSAKA 臺階儀薄膜測厚儀
的詳細介紹
臺階儀ET200A產(chǎn)品參數(shù)
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*大試片尺寸
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Φ200mm×高度50mm
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重現(xiàn)性
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1σ ≤ 1nm
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測定范圍
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Z:600um X:100mm
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分解能
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Z:0.1nm X:0.1um
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測定力
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10UN~500UN (1mg-50mg)
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載物臺
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Φ160mm, 手動360度旋轉(zhuǎn)
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ET200A基于Windows 操作系統(tǒng)為多種不同表面提供**的形貌分析，包括半 導體硅片、太陽能硅片、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學器件、 薄膜/化學涂層、平板顯示、觸摸屏等。使用金剛石（鉆石）探針接觸測量的方式來實現(xiàn)高 精度表面形貌分析應用。ET200A 能**可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨 損度、薄膜應力等多種表面形貌技術(shù)參數(shù)。 ET200A 配備了各種型號探針，提供了通過過程控制接觸力和垂直范圍的探頭，彩色CCD 原位采集設(shè)計，可直接觀察到探針工作時的狀態(tài)，更方便準確的定位測試區(qū)域。