Simco-Ion反饋控制的調(diào)制脈沖 AeroBar-型號5645

采用 Simco-Ion 調(diào)制脈沖 (MP) 技術的*新離子棒現(xiàn)在可通過 Novx 監(jiān)測和反饋系統(tǒng)提供主動反饋和控制。型號 5645 AeroBar 提供行業(yè)**的平衡電離性能，設計用于半導體制程應用、特別是包括*新 3D 技術的先進封裝應用，符合快速消散靜電、和**而低擺幅的平衡電壓的要求。**的調(diào)制脈沖技術，讓 AeroBar離子棒 可放置在近至距晶圓 150 mm 的位置，近距離控制對微細的技術.節(jié)點至關重要。精細調(diào)整結合超潔凈的 SCSi 靜電針，5645 MP 棒的潔凈度能超越 ISO 14644-1 Class 1，符合適用小于 10 nm 微粒的延伸 ISO Class 1 水平*。

型號 5645 離子棒與 Novx 監(jiān)測和反饋系統(tǒng)連接安裝，可以維持 ±5V 以內(nèi)的**平衡電壓。離子棒能容易設置和微調(diào)參數(shù) - 輸出電壓，脈沖頻率，正負平衡，以符合不同環(huán)境和產(chǎn)品對靜電的敏感要求。處于層流風較弱的制程，可選吹氣輔助功能以能加快離子的推送，得到更快的消散時間和有更遠的工作距離。型號 5645 AeroBar 有 14 種長度 從 350 mm 至 2,350 mm 可選。

特點

? ±5V 配置 Novx 監(jiān)測和反饋系統(tǒng)

? 采用 SCSi 靜電針兼容 ISO 14644-1 Class 1 和延伸 ISO Class 1；采用 Ti 靜電針兼容 ISO 14644-1 Class 3

? 使用廣泛調(diào)整的軟件集中管理電源和控制

? 傳感器輸入、FMS 接口、警報、電源和通信等功能設置在離子棒的同一端

優(yōu)點

? 提供主動反饋/控制，對靜電防護實現(xiàn)**穩(wěn)定的平衡電壓

? 兼容所有元件的技術節(jié)點

? 無需在安裝位置手動調(diào)整

? 設計整體易用和長維護周期

±5V 平衡電壓效能

為實現(xiàn) ±5V 平衡電壓效能，型號 5645 可配備 Novx 系統(tǒng)或 Novx Inside。這兩種配置方案都使用 Novx 檢測并自動較正平衡電壓。當傳感器放置在目標區(qū)域時，反饋傳送至 型號 5645 AeroBar 的內(nèi)部控制系統(tǒng)，以確保目標始終保持 ±5V 以內(nèi)的平衡電壓。

設計特點

簡潔的界面：100% 遠程控制，通過軟件的集中控制功能輕松進行調(diào)整。

靈活方便：選用壓接式耦合連接的 CDA 接頭，可以連接快速斷開、掛鉤、轉彎等通用接管配件，便于使用。

更好的線纜管理：電源/通信、24 VDC 接口和 Novx 接口功能設置在同一棒端，能更好地規(guī)劃和管控線纜。

空氣輔助選項：對于層流風比較弱的環(huán)境，采用空氣輔助可以幫助加快離子輸送，在更長距離內(nèi)提供更快的消散時間和性能。
使用 MP 控制軟件簡易安裝

只需插入 24 VDC 電源即可快速安裝型號 5645 AeroBar。MP控制軟件可管控單棒或多棒（*多 8 根）。用戶可以透過簡單易用的 MP 控制軟件微調(diào)離子棒的控制參數(shù)，以優(yōu)化所需的平衡電壓、電壓擺幅和消散時間，滿足操作要求。信號和電源的接線盒上的警報連接能輸出作 FMS 監(jiān)控。