ULVAC愛(ài)發(fā)科株式會(huì)社/真空泵/真空計(jì)/檢漏儀/高速光譜橢偏儀

株式會(huì)社ULVAC (ULVAC)， 是1952年由日本生命保險(xiǎn)公司、 松下電器產(chǎn)業(yè)股份有限公司等6家公司共同投資建立。真空設(shè)備產(chǎn)品主要含油式旋片真空

泵羅茨泵干式真空泵及活塞泵等,應(yīng)用領(lǐng)域有平板顯示器，半導(dǎo)體，電子零部件，太陽(yáng)能電池，汽車，醫(yī)療，食品等多個(gè)行業(yè)。

因進(jìn)口真空泵價(jià)格昂貴，返廠維修時(shí)間長(zhǎng)且價(jià)格高等原因，再加上國(guó)內(nèi)真空技術(shù)發(fā)展迅速，眾多客戶轉(zhuǎn)而使用國(guó)產(chǎn)真空泵替代進(jìn)口真空泵，或使用

進(jìn)口真空泵但在國(guó)內(nèi)維修。自2003年創(chuàng)辦東莞大路通起， 公司即承接各式進(jìn)口真空泵維修如:英國(guó)愛(ài)德華(Edwards)、德國(guó)普旭(Busch)、法國(guó)阿爾卡特

(Alcatel)德國(guó)萊寶(L eybold)、德國(guó)里其樂(lè)(Rietschle)、 德國(guó)貝克(Becker)、 日本愛(ài)發(fā)科(Ulvac)、 日本荏原(EBARA)、日本卡西亞瑪(Kashiyama)等。維

修*專業(yè)，價(jià)格優(yōu)患，維修后專業(yè)檢測(cè)，維修產(chǎn)品質(zhì)量有保證。
ULVAC愛(ài)發(fā)科集團(tuán)是一家以在各領(lǐng)域獲得廣 泛應(yīng)用的真空技術(shù)為基礎(chǔ)，以開(kāi)創(chuàng)精細(xì)加工工藝為追求的研究開(kāi)發(fā)型綜合企業(yè)集團(tuán)。

長(zhǎng)期以來(lái)，作為追求真空極限(Ultimate in Vacuum)的真空技術(shù)先驅(qū)，我們以電子技術(shù)以及信息通信技術(shù)為引導(dǎo),以設(shè)備生產(chǎn)為中心，在能源、環(huán)保、運(yùn)輸、醫(yī)藥、食品、化工、生物工程等廣闊的領(lǐng)域，提供先進(jìn)的真空技術(shù)產(chǎn)品。特別是在半導(dǎo)體制造設(shè)備以及平面顯示器等制造設(shè)備方面，我們提供制造工藝中不可或缺的產(chǎn)品群。另外在技術(shù)開(kāi)發(fā)方面，除了設(shè)備以外,還涵蓋到材料、分析評(píng)價(jià)以及售后服務(wù)等不同領(lǐng)域，并積極開(kāi)展愛(ài)發(fā)科**解決方案。因此，為為提高客戶的滿意度，網(wǎng)羅世界專門企業(yè)的愛(ài)發(fā)科集團(tuán)正力圖提供不同的綜合*解決方案。

展望21世紀(jì)的技術(shù)藍(lán)圖，ULVAC愛(ài)發(fā)科集團(tuán)將次世代能源、精細(xì)化工技術(shù)、精密機(jī)械電子技術(shù)以及生物工程技術(shù)進(jìn)行復(fù)合，進(jìn)一步擴(kuò) 大了技術(shù)應(yīng)用的寬

度和深度，同時(shí)推進(jìn)愛(ài)發(fā)科解決方案的精細(xì)化和高度化。另外，為了對(duì)應(yīng)全球化的產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)變化，我們將進(jìn)一步鞏固以解決客戶課題為使命的研究開(kāi)發(fā)

型企業(yè)的地位。

ULVAC愛(ài)發(fā)科集團(tuán)，是面向各個(gè)行業(yè)廣泛提供各種綜合性真空設(shè)備、空儀器、材料、分析設(shè)備，為解決客戶難題，提升客戶企業(yè)價(jià)值,提供多種多樣

的解決方案的企業(yè)集團(tuán)。

在愛(ài)發(fā)科ULVAC集團(tuán)中，Components Business Unit是負(fù)責(zé)開(kāi)發(fā)、制造、銷售構(gòu)成綜合性真空設(shè)備多種多樣的真空配套產(chǎn)*品的企業(yè)團(tuán)體。真空設(shè)備的

性能，是由追求***的真空技術(shù)的各種真空配套機(jī)器來(lái)支撐的。
ULVAC愛(ài)發(fā)科半導(dǎo)體真空泵株式會(huì)社主要產(chǎn)品有:

真空泵(低.中真空)

ULVAC愛(ài)發(fā)科真空泵(高真空)

真空計(jì)

氣體分析儀(工藝氣體監(jiān)測(cè)儀

ULVAC愛(ài)發(fā)科檢漏儀

高速光譜橢偏儀

ULVAC愛(ài)發(fā)科水晶振蕩式成膜控制器

真空閥.

ULVAC愛(ài)發(fā)科DC電源

DC脈沖電源

MF電源
ULVAC愛(ài)發(fā)科真空泵干泵GR系列是以獲得良好業(yè)績(jī)和信賴的LR/HR系列為基礎(chǔ)設(shè)計(jì)的，面向一般產(chǎn)業(yè)設(shè)計(jì)的簡(jiǎn)單結(jié)構(gòu)的泵。

LS系列真空泵被歸為螺桿型干式真空泵。以往要提高排氣速度就要消耗大量電能，我們通過(guò)**的螺桿形狀和節(jié)電技術(shù)的融合，使該系列產(chǎn)品成為兼顧高

速排氣氣和低功耗的干式真空泵。

愛(ài)發(fā)科ULVAC真空泵HR/UR系列

干泵HR/UR系列，根據(jù)獨(dú)有的高溫均熱化技術(shù)，有效利用壓縮熱，實(shí)現(xiàn)了在CVD,蝕刻等硬工藝中的高耐久性。在輕工藝中，與ECO-SHOCK的組合*

多可節(jié)省約88%的電力。另外,提高了維護(hù)性和降低了噪音，全部型號(hào)CE對(duì)應(yīng)可能(可選)。

EB槍●EB電源

真空搬送機(jī)器人

分子間相互作用定量QCM設(shè)備

微量精密攪拌器

小型蒸發(fā)設(shè)備

低溫設(shè)備(CRYO)

熱處理.熱物性評(píng)估裝置

ULVAC愛(ài)發(fā)科真空泵干泵CR系列VerB是獲得國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)(CE,cTUVus) 的空冷式羅茨型干泵。排氣室內(nèi)不使用真空油，因轉(zhuǎn)子和汽缸是不接觸的，可長(zhǎng)

時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)轉(zhuǎn)。

DIS-501

ULVAC愛(ài)發(fā)科半導(dǎo)體真空泵株式會(huì)社:

●雙繞式渦旋泵、含1根軌道螺旋和2根固定螺旋。

可在大氣壓下實(shí)現(xiàn)操作運(yùn)行。

可實(shí)現(xiàn)高極限真空。

●低振動(dòng)低噪音。

●維護(hù)周期可通過(guò)計(jì)時(shí)表控制。